円筒形マグネトロンスパッタ

計算概要　 -Computation Summary-

長い円筒（パイプ）の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSで利用可能な、①軸対称モデルと、②鏡面対称境界条件を組み合わせることで、装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。

項目・・・

a.『モデル概要』

b.『静磁場』

c.『プラズマ密度』

d.『電位・電場』

e.『スパッタリング』

f.『成膜』

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