対向ターゲット式スパッタ

計算概要　 -Computation Summary-

基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。

項目・・・

a.『モデル概要（１）』

b.『モデル概要（２）』

c.『静磁場』

d.『電子数密度』

e.『エネルギーフラックス』

f.『成膜』

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