計算概要 -Computation Summary-
基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。
項目・・・
a.『モデル概要(1)』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i0cc54cd6ede80a2a/version/1695280453/image.png)
b.『モデル概要(2)』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/ibf367b8189500d12/version/1695280463/image.png)
c.『静磁場』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/ie6f9103aa1c201d3/version/1695280471/image.png)
d.『電子数密度』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i820c3d6f335aab84/version/1695280483/image.png)
e.『エネルギーフラックス』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/ibcc756ce32477aff/version/1695280507/image.png)
f.『成膜』』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i436315ebb28e2480/version/1695280536/image.png)
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