Particle-PLUS v4.17.02
( Particle-PLUS-GUI v4.17.02, WF-Geom2D
v1.02.01,
WFLicenseServer v2.00.01 )
●主要変更点:
□3次元計算用のカットモデルの追加
曲面形状を正確に模擬するための、カットセルモデルによる3次元プラズマシミュレーションが可能となりました。埋め込み境界法を用いて、境界条件は計算格子点上に正確に割り当てられます。これにより、従来では計算できなかった曲面を扱えるようになりました。
カットセルを含むメッシュ
従来の直方体メッシュ
計算結果も曲面形状に沿ったデータが出力されるようになりました。カットセルモデルは回転ターゲットのスパッタリング、曲面基板への成膜等の解析に有用です。
曲面基板上の銅成膜レート
空間中の電子数密度分布
●その他の変更点:
□プラズマ計算用のガス種データベースへの追加
・NH3/Ar混合ガス
□スパッタリング計算用のターゲット材料データベースへの追加
・Ta2O5 ・HfO2 ・BaTiO3 ・ LiNbO3 ・ LiTaO3 ・ PbTiO3
□蒸着計算用の固体材料データベースへの追加
・Ta2O5 ・HfO2 ・ZrO2 ・Nb2O5 ・Y2O3 ・MgO
・Ga2O3 ・ZnS ・MgF2 ・AlGaN ・BaTiO3 ・LiNbO3
・LiTaO3 ・PbTiO3
□ガス流れ計算用の粒子種データベースへの追加
・Ta2O5 ・Li
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