フィールドアーク蒸着

計算概要　 -Computation Summary-

水素フリーでsp3構造成分が多いDLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜であるta-C（tetrahedral amorphous carbon）膜を成膜する手法のひとつである、フィルタードアーク蒸着（FAD: Filtered Arc Deposition）に関する解析事例です。

Particle-PLUSでは荷電粒子の運動が追跡できるため、炭素イオンが磁場中でどのように移動するかのシミュレーションを行うことができます。 また、熱泳動や抵抗力を考慮した微粒子解析モデルにより、FADで問題視されるドロップレットの挙動を追跡することができます。

項目・・・

a.『モデル概要（荷電粒子）』

b.『電子数密度』

c.『炭素イオン数密度』

d.『基板上の炭素イオン流速』

e.『モデル概要（ドロップレット）』

f. 『ドロップレット数密度』

g.『基板上のドロップレット流速』

h.『関連項目（Webリンク）』

i.『ギャラリー』

➡動画公開中！！

➡動画公開中！！

➡動画公開中！！

➡動画公開中！！

←「Particle-PLUS　事例集」へ戻る

株式会社ウェーブフロント 

営業部 

メール：sales@wavefront.co.jp

TEL：045-682-7070