計算概要 -Computation Summary-
水素フリーでsp3構造成分が多いDLC(ダイヤモンドライクカーボン)膜であるta-C(tetrahedral amorphous carbon)膜を成膜する手法のひとつである、フィルタードアーク蒸着(FAD: Filtered Arc Deposition)に関する解析事例です。
Particle-PLUSでは荷電粒子の運動が追跡できるため、炭素イオンが磁場中でどのように移動するかのシミュレーションを行うことができます。 また、熱泳動や抵抗力を考慮した微粒子解析モデルにより、FADで問題視されるドロップレットの挙動を追跡することができます。
項目・・・
a.『モデル概要(荷電粒子)』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/if811887d52b11e45/version/1702260252/image.png)
b.『電子数密度』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i2c8991d32408dd6c/version/1702260474/image.png)
c.『炭素イオン数密度』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/ibdbeaac78da85cf8/version/1702260688/image.png)
d.『基板上の炭素イオン流速』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/iecccb4ef1b08c6d0/version/1702260788/image.png)
e.『モデル概要(ドロップレット)』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i5b7a0bd2cc488f5d/version/1702260831/image.png)
f.『ドロップレット数密度』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i1df4420b0ef42b45/version/1702260907/image.png)
g.『基板上のドロップレット流速』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/ib6d62a1d67c270e7/version/1702260954/image.png)
h.『関連項目(Webリンク)』
i.『ギャラリー』
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