計算概要 -Computation Summary-
代表的なプロセス装置のひとつである、CCP(容量結合プラズマ)装置に関するプラズマ解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速にシミュレーションを行うことができます。
▣容量結合プラズマ(CCP)の3次元解析
項目・・・
a.『モデル概要』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i2fa21287832f4ac2/version/1695625140/image.png)
b.『電位』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i81f2463ed9890288/version/1695625151/image.png)
c.『粒子数密度』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/ief119dc542f035eb/version/1695625160/image.png)
d.『エネルギー分布』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/ifc78adc917db88d8/version/1695625168/image.png)
e.『電極上の粒子流束』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i4545414ffbd0e8f4/version/1695625177/image.png)
ギャラリー -gallery-
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