自己バイアス効果 -self bias-
プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。
項目・・・
a.『概要』

b.『計算モデル(A)』

c.『計算モデル(B)』

d.『計算モデル(C)』

e.『計算結果:電位』
※サイクル平均


f.『計算結果:イオン密度』
※サイクル平均

g.『計算結果:イオンフラックス』
※サイクル平均

h.『まとめ』

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