DCマグネトロンスパッタ（３D）

計算概要　 -Computation Summary-

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。

項目・・・

a.『モデル概要』

b.『中性ガス圧力』

c.『磁場と電磁数密度』

d.『エロ―ジョン』

e.『デポジション』

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