計算概要 -Computation Summary-
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。
項目・・・
a.『モデル概要』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=766x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/ie44cacaf36e08e8f/version/1691647534/image.png)
b.『中性ガス圧力』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=766x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/iaea3a8bb4ea706fe/version/1692600867/image.png)
c.『磁場と電磁数密度』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=766x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/ia5b03cb709fc02de/version/1692674775/image.png)
d.『エロ―ジョン』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=766x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i473ff04cca736930/version/1692675066/image.png)
e.『デポジション』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=766x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i1014c67d7a1488e2/version/1692674904/image.png)
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