2周波CCPのプラズマ解析

計算概要　 -Computation Summary-

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても高速にシミュレーションを行うことができます。

項目・・・

a.『モデル概要』

b.『電位』

c.『粒子の推移』

d.『粒子数密度』

e.『Arイオン流束』

ギャラリー　 -gallery-

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