計算概要 -Computation Summary-
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。
項目・・・
a.『モデル概要』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=734x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i227d5fbe55154312/version/1693279617/image.png)
b.『磁場とガス密度』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=734x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i01d6298820332fed/version/1693279922/image.png)
c.『電位と電場』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=734x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i55f0cfde5874df18/version/1693280137/image.png)
d.『粒子数と消費電力』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=734x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i64947bfc6b219d02/version/1693280256/image.png)
e.『プラズマ密度』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=734x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i9813acd9358b4708/version/1693280539/image.png)
f.『プラズマ温度』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=734x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i06c6b0b672d8e298/version/1693280648/image.png)
g.『イオン流速』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=734x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/icc3d425c1a29afaa/version/1693280740/image.png)
h.『スパッタリングと成膜』
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=734x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i50f677b04e14953b/version/1693280879/image.png)
ギャラリー -gallery-
動画の再生およびダウンロードが可能です。
※
動画再生はMP4形式の再生に対応したブラウザのみ可能です。
【立ち上がりの電子数密度】
【定常状態での電子数密度】
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