![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=820x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i5f44bdb76108921c/version/1698292604/image.png)
Particle-PLUS v4.17.02
( Particle-PLUS-GUI v4.17.02, WF-Geom2D
v1.02.01,
WFLicenseServer v2.00.01 )
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=524x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i33a531da4017c412/version/1698289599/image.png)
●主要変更点:
□3次元計算用のカットモデルの追加
曲面形状を正確に模擬するための、カットセルモデルによる3次元プラズマシミュレーションが可能となりました。埋め込み境界法を用いて、境界条件は計算格子点上に正確に割り当てられます。これにより、従来では計算できなかった曲面を扱えるようになりました。
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=357x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i8dc2fd221c5e1b54/version/1698290840/image.png)
カットセルを含むメッシュ
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=357x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i50b0d4e5ed830acf/version/1698290793/image.png)
従来の直方体メッシュ
計算結果も曲面形状に沿ったデータが出力されるようになりました。カットセルモデルは回転ターゲットのスパッタリング、曲面基板への成膜等の解析に有用です。
![](https://image.jimcdn.com/app/cms/image/transf/dimension=739x10000:format=png/path/sf4bb499a504a0024/image/i72bab7bc39293b6a/version/1698303012/image.png)
曲面基板上の銅成膜レート
空間中の電子数密度分布
●その他の変更点:
□プラズマ計算用のガス種データベースへの追加
・NH3/Ar混合ガス
□スパッタリング計算用のターゲット材料データベースへの追加
・Ta2O5 ・HfO2 ・BaTiO3 ・ LiNbO3 ・ LiTaO3 ・ PbTiO3
□蒸着計算用の固体材料データベースへの追加
・Ta2O5 ・HfO2 ・ZrO2 ・Nb2O5 ・Y2O3 ・MgO
・Ga2O3 ・ZnS ・MgF2 ・AlGaN ・BaTiO3 ・LiNbO3
・LiTaO3 ・PbTiO3
□ガス流れ計算用の粒子種データベースへの追加
・Ta2O5 ・Li
会社名: 株式会社ウェーブフロント
MAIL:sales@wavefront.co.jp
TEL:045-682-7070