プラズマ解析ソフトウェア『Particle-PLUS』では、 プラズマプロセスのいろいろなモデルに対して解析実績がございます。 ここでは解析例のいくつかを紹介いたします。
各モデルをクリックすると解析サンプルの詳細もご覧になれますのでご参照ください。
磁場解析機能を使ってマグネトロンスパッタのシミュレーションが可能です。 スパッタ粒子の放出量、エネルギー、射出角度といった基本的な量の解析に加え、 スパッタ粒子の吸着分布やマグネトロンスパッタによる成膜速度、 膜の均一性といった量の評価が可能です。
Particle-PLUSではマッチング回路を考慮に入れてプラズマ解析することができます。 これにより、より現実的なモデルでのシミュレーションが可能となります。
プラズマの挙動と合わせて求められるラジカルや励起種の生成分布と中性ガスモジュールを組み合わせることで、 それらの中性粒子の挙動を計算することができます。 これにより、Particle-PLUSではプラズマCVDのシミュレーションが可能となっております。
CCPで重要となる誘電加熱のほかに、誘導加熱を考慮することでコイルを用いたICPモデルのシミュレーションが可能です。
Particle-PLUSでは他にも以下のような解析実績があります。
下記の論文ではParticle-PLUSが使用されました。
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